Китайская компания Hefei Lumiverse Technology совершила революцию в области литографического оборудования, представив первый в мире компактный EUV-сканер. Это устройство, основанное на технологии генерации высоких гармоник (HHG), в тысячи раз меньше традиционных машин ASML и значительно дешевле. В статье мы разберем, как это изобретение может изменить рынок полупроводников, какие преимущества оно предлагает и какие вызовы стоят перед разработчиками.
Что такое EUV-сканер и почему это важно
Технология нового поколения
EUV-литография использует экстремальное ультрафиолетовое излучение с длиной волны 13,5 нм, что позволяет создавать более миниатюрные и мощные чипы. До недавнего времени такие сканеры были огромными и дорогими, что делало их доступными только для крупных производителей.
Проблема доступности
Оборудование ASML, лидера рынка, стоит более $100 млн и занимает пространство, сопоставимое с автобусом. Это создает барьеры для небольших компаний и стран, таких как Китай, которые сталкиваются с санкциями.
Особенности китайского EUV-сканера
Компактность и стоимость
- Устройство помещается на лабораторном столе.
- Стоимость в сотни раз ниже, чем у аналогов.
Принцип работы
Сканер использует фемтосекундный лазер, направленный в инертный газ (аргон). В результате нелинейных оптических эффектов генерируется EUV-излучение. Однако мощность такого излучения пока значительно ниже, чем у традиционных систем.
Преимущества и ограничения
Плюсы технологии
- Возможность обойти санкции и развивать собственное производство чипов.
- Подходит для опытного производства и контроля качества.
Минусы и вызовы
- Мощность излучения всего 1 мкВт, что ограничивает производительность.
- Пока не подходит для массового производства передовых чипов.
Перспективы и будущее разработки
Планы разработчиков
Компания Hefei Lumiverse планирует увеличить мощность сканера до 1 мВт, что позволит выйти на рынок коммерческого оборудования для метрологии и контроля качества.
Роль китайских специалистов
Разработка стала возможной благодаря возвращению в Китай бывшего руководителя EUV-направления американской KMLabs. Это демонстрирует стремительное сокращение технологического отставания КНР.
«Этот сканер — важный шаг к технологической независимости Китая», — отмечают эксперты.
В заключение, китайский EUV-сканер — это не просто инновация, а символ изменения баланса сил в мировой микроэлектронике. Хотя технология еще требует доработки, она открывает новые возможности для развития полупроводниковой промышленности.
